二次元影像儀測量精度所受的影響也是電學誤差是CCD器件所固有的；機械誤差主要是產生于二次元測量儀的制造和裝配的過程中，這個誤差可以通過提高制造裝配質量可以很好的有效的減小此誤差。

1、導軌安裝在底座上時要保證足夠的水平，需要通過千分表去打水平精度。

2、XY光柵尺安裝時需要完全水平，不能有任何傾斜。

3、X、Y工作臺需要水平且平行，這就需要導軌安裝的時候要水平。

光學誤差是成像光路和器件所產生的失真和畸變而存在的。這個主要是由于攝像機的制造和工藝等有關原因，比如射光線在通過各個透鏡時，產生的折射誤差和CCD點陣位置的誤差，所以光學系統存在著非線性的幾何失真，導致目標像點和理論像點之間存在多種類型的幾何畸變。

1、徑向畸變：主要是攝像機鏡頭的主光軸對稱的問題，也就是CCD鏡頭形狀存在的缺陷。

2、偏心畸變：主要是各透鏡的光軸中心不能嚴格共線，導致光學系統光心與幾何中心不一致造成的。

3、薄棱鏡畸變:相當于在光學系統中附加了一個薄棱鏡，不僅會引起徑向偏差，也會引起切向偏差，是由于鏡頭設計、制造缺陷和加工安裝的誤差造成的。

最后一點就是跟使用人員的操作有關了，也就是人為操作誤差，關于人為操作誤差主要集中在手動與半自動機器上，自動機器會稍微好一點，人為誤差主要有以下幾個方面：
 

1、取點的誤差（不清晰的邊及有毛刺的邊緣的過濾）

2、Z軸焦距調節的誤差（也即最清晰點判斷的誤差）

另外，二次元測量儀的精度也跟使用情況，保養情況以及使用環境密切相關。精密儀器也需要認真維護保養，平時不用的時候注意保持干燥清潔，操作時也需要遠離有振動或者噪音大的地點。